水环式真空泵/液环真空泵工作原理：
水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。
水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食物等很多产业部分。在产业出产的很多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。因为真空应用技术的奔腾发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所正视。因为水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。贝克真空泵
在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向周围，因为离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔外形的近似于等厚度的封锁圆环。水环的下部门内表面刚好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面恰好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数量相等的若干个小腔。假如以叶轮的下部0°为出发点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继承旋转时，小腔由大变小，负气体被压缩;当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
1.检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手滚动真空泵，试看真空泵是否灵活。
2.向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中央线处，润滑油应及时更换或增补。
3.拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水或引浆。
4.关好出水管路的闸阀和出口压力表及入口真空表。
5.点动电机，试看电机转向是否准确。
6.开动电机，认真空泵正常运转后，打开出口压力表和入口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
7.尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。
8.真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35℃，最高温度不得超过80℃。
9.如发现真空泵有异常声音应立刻泊车检查原因。
10.真空泵要休止使用时，先封闭闸阀、压力表，然后休止电机。
11.真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
12.常常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常以成滴漏出为宜.。
13.按期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
14.真空泵在寒冬季节使用时，泊车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
15.真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将滚动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
旋片式真空泵工作原理：
旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等出产和科研部分。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有侵蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与进口压强的关系划定如下：在进口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部门，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。因为空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体压强降低，泵的进口处外部气体压强盛于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。假如排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而进步了极限真空度。贝克真空泵
罗茨泵的工作原理：
罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。因为罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了进步泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。因为转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封锁状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边沿，v0空间与排气侧相通时，因为排气侧气体压强较高，则有一部门气体返冲到空间v0中去，负气体压强溘然增高。当转子继承滚动时，气体排出泵外。
CG-17玻璃三级高真空油扩散泵工作原理：
GG-17玻璃膨胀系数低，能更好地耐受很高的温度差变，故该泵比同型泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该泵合用于电子产业，如电子管。显象管。X光管，以及半导体单晶硅的冶炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高真空排气的仪器。
先由滚动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空.
